宇宙ナノテククリーンルーム

研究成果

本クリーンルームを使用して得られた研究成果

  • TES マイクロカロリメータの開発研究
（様式2）利用研究報告書_山崎_20210305ダウンロード
  • シリコン高温塑性変形による X 線望遠鏡の開発
（様式2）利用研究報告書_石田_20210302ダウンロード
  • 粒子観測器質量分析部用二次電子生成プレートの開発
（様式2）利用研究報告書_浅村_20210303ダウンロード
  • 多段ドライエッチング加工を用いた電波観測用広帯域シリコン光学素子の開発
（様式2）利用研究報告書_長谷部_20210226ダウンロード
  • MEMS 技術を用いた X 線望遠鏡と X 線検出器の開発
（様式2）利用研究報告書_都立大（江副）20210309ダウンロード
  • 宇宙ナノエレクトロニクス CR のプロセス装置を用いた混成半導体集積回路(HySIC),放射線センサ,テラヘルツアンテナの試作
（様式2）利用研究報告書_上智（中岡）20210222ダウンロード
  • ガンマ線用 TES 型マイクロカロリメータの開発研究
（様式2）利用研究報告書_九大（伊豫本）20210316ダウンロード