宇宙航空用マイクロナノデバイス作製

JAXA相模原キャンパスの宇宙ナノエレクトロニクスクリーンルームは、宇宙航空用のマイクロ、ナノデバイスの研究開発用のクリーンルームです。

MEMS応用デバイス、赤外線用フィルター、赤外線用検出器、X線用デバイス、高周波用デバイス等の研究開発を行っています。

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この施設の運営の一部は、量子場計測システム国際拠点(QUP)に支援していただいています。