宇宙航空用マイクロナノデバイス作製

JAXA相模原キャンパスの宇宙ナノエレクトロニクスクリーンルームは、宇宙航空用のマイクロ、ナノデバイスの研究開発用のクリーンルームです。

MEMS応用デバイス、赤外線用フィルター、赤外線用検出器、X線用デバイス、薄型太陽電池、その他のセンサーデバイス等の研究開発を行っています。


問い合わせ:nanocr(アットマーク)ml.jaxa.jpまで。(アットマークを)@に変換ください。

本クリーンルームは、QUP宇宙科学研究サテライトとしてデバイス開発に協力しております。