宇宙航空用マイクロナノデバイス作製

JAXA相模原キャンパスの宇宙ナノエレクトロニクスクリーンルームは、宇宙航空用のマイクロ、ナノデバイスの研究開発用のクリーンルームです。

MEMS応用デバイス、赤外線用フィルター、赤外線用検出器、X線用デバイス、高周波用デバイス等の研究開発を行っています。