装置一覧

本クリーンルームにはマイクロ・ナノデバイスを作製するためのプロセス装置を揃えています。

• 電子線描画装置
  • 電子線を用いることで数十nmのパターニングが可能
• コンタクト式両面アライナー
• ICP-RIE(シリコン深掘りエッチング装置)
  • シリコンを垂直にエッチング(掘る)装置
• 蒸着器
• PE-CVD(気相堆積装置)
• SEM(走査型電子顕微鏡)
• AFM(原子間力顕微鏡)